二、主要技術(shù)規(guī)格:
1、標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格尺寸: 單位:mm
型號(hào)
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YZP80-20
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YZP100-25
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YZP150-30
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YZP200-40
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直徑
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Φ80
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Φ100
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Φ150
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Φ200
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厚度約
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20mm
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25mm
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30mm
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40mm
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備注:直徑大于200mm可定制;
3、精度:按JJG_28-2019標(biāo)準(zhǔn);
1) 平晶精度:1級(jí)
a.直徑 30mm~60mm 0.03μm
b.直徑 80mm~150mm 0.05μm
c.直徑 200mm~250mm 0.08~0.1μm
d.直徑 300mm~600mm 0.08~0.5μm
2)平晶的材料:特等優(yōu)質(zhì) 光學(xué)K9,或石英材質(zhì)(選購(gòu))
3) 平晶必須放置在(20士5)℃和濕度不大于80 % RH的檢定室內(nèi)進(jìn)行等溫,等溫時(shí)間不少于8小時(shí);
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4、備注:簡(jiǎn)易操作說明
1、采用220V/50或60HZ專用鈉光燈源照射。
2、選用一級(jí)平面平晶(備注:直徑≤200mm以內(nèi)平晶為標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格,直徑>200mm以上平晶為非標(biāo)規(guī)格)。
1)將工件需檢測(cè)的平面放置在平面平晶表面上(中心位置)
2)調(diào)整玻璃鏡的角度,工件平面會(huì)通過平面平晶鈉光燈源照射反映在玻璃鏡上,將玻璃鏡上所顯示的光帶紋
路對(duì)照光譜圖示參照?qǐng)D,找出相似或接近的圖示,即可檢測(cè)出該工件的平面度,如顯示的紋路圖案不清楚,可
以輕輕轉(zhuǎn)動(dòng)工件查看玻璃鏡上的紋路,找出一個(gè)清晰的圖案再去對(duì)照。